小型走査型電子顕微鏡（SEM）（Lemyシリーズ）

電子銃	ショットキー（Zr/0/W）
加速電圧	1kV～15kV（連続可変）
最大倍率	ｘ500,000
電子光学系寸法	高さ：約250mm、直径：約100mmΦ
元素分析	EDSシステム（オプション）
真空排気	ドライ排気

 

（注）観察目的に最適な試料室、試料ステージをご用意致します。

 

小型イオンポンプ（LeIP-10)

排気速度	6,5 l/s
本体寸法	67(W) x 63(D) x 130(H) mm
フランジ仕様	DN40-CF
重量	2.4 kg

真空容器内観察用光学顕微鏡　(LeMS-10)

（特許出願中）

・電子ビーム、イオンビーム等の照射位置を同時観察 ・容器内に光源があり画像が明瞭 ・倍率： 数10倍～数100倍（仕様によります）

関連部品

電子ビーム特性評価用素子

設計ツール

荷電粒子光学系設計ツール （MEBS社日本代理店）